PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒 为 为承载半导体晶圆片/硅片的容器，可依照客户需求设计，全氟烷氧基材質有优良的化学稳定性，耐高温200~220℃、耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱)，主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。
● 可雷雕、可装RFID进行载具&材料追踪
● Cassette依材质特性的选择参考：
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材质
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耐温度
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特性
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Cassette 应用
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PFA Cassette
铁氟龙卡匣
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200~220℃
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耐 強酸 強氟酸 強碱
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酸碱制程中使用
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PP Cassette
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40~60℃
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重量轻，
可焊接，缺点易变形。
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一般传输制程
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PEEK Cassette
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150~180℃
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硬度高、耐高温，
不易变形。
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PBT Cassette
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100~120℃
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抗燃、耐油性佳。
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PEI Cassette
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130~150℃
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耐磨、抗静电性。
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